国度常识产权局信息败露澳门巴黎人电子游戏，艾必客股份有限公司央求一项名为“温度测量安装、温度测量法子及温度测量门径、以及晶圆制造安装”的专利，公开号CN122477360A，央求日历为2025年1月。

专利摘抄败露，提供一种温度测量安装，在蜿蜒地测量当作测量对象的硅晶圆的温度的情景下，从实测的辐照亮度中摒弃启事于腔室部件的辐照亮度的影响，而预计测量对象的温度变化量。该温度测量安装具备：收留测量对象物的腔室；加热部；缔造于与测量对象物相对的腔室位置的腔室窗部；测量测量对象物和腔室窗部的温度的温度测量部；以及字据温度测量部的检测值预计测量对象物温度的运算部。运算部具备：换算部，其字据由温度测量部的检测值算出的实测温度，生成与腔室窗部的温度变化量相对应的测量对象物的温度变化量的换算数据；条目赢得部，其赢得测量对象物的加热条目；检测值赢得部，其赢得温度测量部的检测值；以及温度矫正部，其使用换算数据对由温度测量部的检测值算出的实测温度进行矫正而推算测量对象物的温度。

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